[16p-A2-1~8] 1.3 新技術

[16p-A2-8] SF₆プラズマによるNb-TiO₂結晶基板のドライエッチング

^○松谷晃宏¹，西岡國生¹，庄司大¹，佐藤美那¹，小林大斗²，磯部敏宏²，中島章²，立間徹³，松下祥子² (東工大半導体MEMSプロセス技術センター¹，東工大院材料工学²，東大生研³)

キーワード：プラズマエッチング,フォトニック結晶