[16p-A8-1~14] 5.1 半導体レーザー・発光/受光素子

[16p-A8-7] 熱駆動のマイクロマシンを用いたアサーマル面発光レーザの波長掃引特性II

^○中濱正統¹，佐野勇人¹，坂口孝浩¹，松谷晃宏²，小山二三夫¹ (東工大 精研¹，東工大 半導体MEMSプロセス技術センター²)

キーワード：面発光レーザ,MEMS