[16p-B2-1~14] 15.8 結晶評価.ナノ不純物・結晶欠陥

△ [16p-B2-13] Ge結晶中のドーパントと不純物金属原子の相互作用に関する第一原理解析(2)

^○（M2）大和龍紀¹，末岡浩治¹，前田貴弘² (岡山県大院¹，グローバルウェーハズ・ジャパン²)

キーワード：第一原理計算,Ge,不純物金属原子