14:00 〜 14:15
[16p-B2-3] 格子間不純物が育成中Si単結晶の点欠陥濃度に与える影響
キーワード：点欠陥,不純物効果,Si結晶成長
講演情報
一般セッション(口頭講演)
15．結晶工学 » 15.8 結晶評価.ナノ不純物・結晶欠陥
[16p-B2-1~14] 15.8 結晶評価.ナノ不純物・結晶欠陥
2013年9月16日(月) 13:30 〜 17:15 B2 (TC2 1F-102)
一般セッション(口頭講演)
15．結晶工学 » 15.8 結晶評価.ナノ不純物・結晶欠陥
2013年9月16日(月) 13:30 〜 17:15 B2 (TC2 1F-102)
14:00 〜 14:15
キーワード：点欠陥,不純物効果,Si結晶成長