[16p-B2-1~14] 15.8 結晶評価.ナノ不純物・結晶欠陥

[16p-B2-5] 低温超音波測定と2次欠陥測定によるCZシリコン結晶中の原子空孔評価(2) 原子空孔とBMD密度の相関

^○岡部和樹^1,2，斎藤広幸²，鹿島一日兒²，金田寛^1,3，斉藤芳彦⁴，根本祐一¹，後藤輝孝¹ (新潟大院自然¹，グローバルウェーハズ²，九工大院工³，東芝⁴)

キーワード：CZシリコン,原子空孔,BMD