[16p-B2-1~14] 15.8 結晶評価.ナノ不純物・結晶欠陥

[16p-B2-8] パワーデバイス用Siエピウェーハにおける炭素不純物のPL評価

^○中川聰子，鹿島一日兒 (グローバルウェーハズ)

キーワード：シリコン,フォトルミネッセンス,カーボン