[16p-B3-1~10] 17.1 成長技術

[16p-B3-3] 温度勾配制御[STEP]成長で作製したCNT膜の評価

^○川端章夫，村上智，二瓶瑞久，横山直樹 (産総研GNC)

キーワード：カーボンナノチューブ,排熱,Thermal Interface Material