[16p-B3-1~10] 17.1 成長技術

[16p-B3-6] レーザ照射援用アルコールCVD法によるSi基板上のCNT成長

^○梅田俊一¹，赤羽浩一²，外林秀之¹ (青山学院大¹，情報通信機構²)

キーワード：カーボンナノチューブ,レーザ