[16p-B3-1~10] 17.1 成長技術

[16p-B3-9] 新規触媒前駆体として液体供給源を用いたCNT成長の開発

^○臼田祐希¹，菊地貴裕¹，佐藤仁³，中西太宇人³，加藤隆³，冨田恭一³，三村秀典²，中野貴之¹，井上翼¹ (静大院工¹，静大電研²，JNC³)

キーワード：CNT,CVD,CNTアレイ