[16p-B5-1~16] 15.4 III-V族窒化物結晶

[16p-B5-11] 高品質窒化物半導体自立薄膜垂直微小共振器の構造・光学特性評価

^○有田宗貴¹，陶仁春²，加古敏²，荒川泰彦^1,2 (東大ナノ量子機構¹，東大生産研²)

キーワード：垂直微小共振器