[16p-C7-1~12] 有機ナノ界面制御エレクトロニクス

[16p-C7-11] 対向ターゲットスパッタ法を用いた電極形成の際に生じる有機／金属界面損傷の要因解析

^○末森浩司，星野聰，茨木伸樹，鎌田俊英 (産総研)

キーワード：対向ターゲットスパッタリング,界面損傷,有機デバイス