[16p-C8-1~12] 1.7 計測技術

[16p-C8-6] 放射測温法における背光放射の定量評価

^○岩崎友幸¹，井内徹² (チノー¹，東洋大理工²)

キーワード：放射測温,背光,シリコンウエハ