2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.4 光物性・発光デバイス

[16p-D6-1~16] 14.4 光物性・発光デバイス

2013年9月16日(月) 13:00 〜 17:15 D6 (MK 3F-301)

15:30 〜 15:45

[16p-D6-10] RFスパッタ法によるZnO系薄膜の形成におけるGaN添加とその後のNH3窒化処理の影響

○（M1）岩田純一，荒木拓海，平野祐，勝俣裕 (明大理工)

キーワード：ZnO