14:00 〜 14:15
[16p-D6-5] HF/H2O2を用いたPdアシスト化学エッチングによるシリコンナノ構造物質の作製と評価
キーワード：シリコンナノ構造,シリコンナノワイヤ,フォトルミネッセンス
講演情報
一般セッション(口頭講演)
14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.4 光物性・発光デバイス
[16p-D6-1~16] 14.4 光物性・発光デバイス
2013年9月16日(月) 13:00 〜 17:15 D6 (MK 3F-301)
一般セッション(口頭講演)
14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.4 光物性・発光デバイス
2013年9月16日(月) 13:00 〜 17:15 D6 (MK 3F-301)
14:00 〜 14:15
キーワード：シリコンナノ構造,シリコンナノワイヤ,フォトルミネッセンス