2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

印刷

一般セッション(口頭講演)

14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.4 光物性・発光デバイス

[16p-D6-1~16] 14.4 光物性・発光デバイス

2013年9月16日(月) 13:00 〜 17:15 D6 (MK 3F-301)

14:15 〜 14:30

[16p-D6-6] ナノ結晶Si を添加したSiOx 薄膜の光学特性と電気特性

○（M2）平田雄也，原広紀，勝俣裕 (明大理工)

キーワード：nc-Si,ナノ結晶Si