[16p-P7-1~52] 17 ナノカーボン（ポスター）

[16p-P7-8] イオン注入4H-SiC表面におけるグラフェン成長とプラズマ処理効果

^○（M2）杉町徹¹，青柳大輝¹，西村智朗²，中村徹¹ (法政大理工¹，法政大イオンビーム²)

キーワード：グラフェン,SiC,プラズマ処理