[16p-P8-1~21] 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[16p-P8-1] H₂導入RFスパッタにより作製した低抵抗AZO薄膜の物性評価

^○田中真樹^1,2，吉野賢二² (宇部マテリアルズ¹，宮崎大工²)

キーワード：酸化亜鉛,透明導電膜