[16p-P8-1~21] 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [16p-P8-11] ZnO TFTのドレイン電流DLTS測定 (2)

^○久保田優人，小柳津祥典，森雄大，村中司，鍋谷暢一，松本俊 (山梨大院医工)

キーワード：酸化亜鉛,薄膜トランジスタ,電流DLTS