[16p-P8-1~21] 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[16p-P8-17] IGZO 結晶粉末中の格子欠陥に関する研究

^○松田時宜^1,2，西本大樹¹，高橋宏太¹，植野大貴¹，木村睦^1,2 (龍大理工¹，龍大科技研センター²)

キーワード：格子欠陥,電子スピン共鳴,酸化物半導体