[16p-P8-1~21] 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[16p-P8-3] スピンコートシード層への溶液法によるZnO薄膜の作製

^○松本拓也，安部功二 (名古屋工業大)

キーワード：ZnO,薄膜,スピンコート