[16p-P8-1~21] 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[16p-P8-7] スパッタ法で作製するAZO透明導電膜の表面テクスチャ構造形成技術の検討

^○山中俊憲，野本淳一，宮田俊弘，南内嗣 (金沢工学)

キーワード：AZO,透明導電膜