[17a-A13-1~10] 7.5 ビーム・光励起表面反応

△ [17a-A13-9] 原子状酸素照射によるSi含有DLC膜への影響

^○遠藤みなみ¹，貴傳名健吾¹，今井亮¹，新部正人¹，横田久美子²，田川雅人²，古山雄一³，神田一浩¹ (兵庫県立大高度研¹，神戸大院工²，神戸大院海事³)

キーワード：原子状酸素ビーム,ダイヤモンドライクカーボン膜,X線吸収分光