[17a-B1-1~11] 17.1 成長技術

△ [17a-B1-1] マイクロ波プラズマCVD法で合成したグラフェン膜の電気伝導特性評価とラマンマッピング評価

^○沖川侑揮^1,2，加藤隆一²，谷将広²，山田貴壽^1,2，石原正統^1,2，長谷川雅考^1,2 (産総研¹，TASC²)

キーワード：グラフェン,プラズマCVD,移動度