[17a-B1-1~11] 17.1 成長技術

[17a-B1-3] 超低炭素濃度プラズマCVD法による高品質グラフェン合成

^○加藤隆一¹，津川和夫¹，石原正統^1,2，沖川侑揮^1,2，山田貴壽^1,2，長谷川雅考^1,2 (TASC¹，産総研ナノチューブ²)

キーワード：グラフェン,プラズマ