[17a-B1-1~11] 17.1 成長技術

[17a-B1-5] RFプラズマを利用した酸化グラフェンへの窒素ドーピング

^○赤田圭史¹，田中弘成²，寺澤知潮²，今村岳¹，小幡誠司¹，斉木幸一朗^1,2 (東大院新領域¹，東大院理²)

キーワード：窒素ドープ,プラズマ