[17a-B3-1~11] 15.6 IV族系化合物

[17a-B3-2] Si-on-SiC基板貼り合わせ界面の電気的特性

^○笹田幸弘，来見貴誠，荒木亮祐，清水秀雄，木下博之，吉本昌広 (京都工芸繊維大院)

キーワード：SiC,heterojunction,electrical propertis