[17a-B4-1~12] 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[17a-B4-1] 超音波噴霧ミストCVD法によるコランダム構造In₂O₃薄膜の成長

^○鈴木規央，金子健太郎，藤田静雄 (京大院工)

キーワード：酸化インジウム,ミストCVD,コランダム