[17a-B4-1~12] 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[17a-B4-4] H₂-O₂触媒反応生成高エネルギーH₂Oを用いて堆積したZnO薄膜の結晶構造

^○山口直也，竹内智彦，永冨瑛智，玉山泰宏，安井寛治 (長岡技科大工)

キーワード：ZnO,CVD,触媒反応