[17a-B4-1~12] 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[17a-B4-5] ZnOのグラフォエピタキシーに向けたガラス基板表面の加工と初期成長観察

^○入野将昂¹，大島孝仁¹，大友明^1,2,3 (東工大院工¹，JST-ALCA²，元素戦略³)

キーワード：グラフォエピタキシー,酸化亜鉛,ZnO