[17a-B4-1~12] 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[17a-B4-6] ハライド気相成長によるZnO薄膜成長の酸素源の検討

^○神崎直人¹，伊佐雄太¹，康松潤²，富樫理恵¹，村上尚¹，熊谷義直¹，柏木勇作²，纐纈明伯¹ (東京農工大院工¹，東京エレクトロン²)

キーワード：HVPE,酸化亜鉛