[17a-B5-1~10] 13.3 絶縁膜技術

[17a-B5-2] SOG溶液を用いた塗布ゲート酸化膜の低温作製

^○臼田亮，野崎眞次，内田和男 (電通大)

キーワード：シリコン酸化膜,spin on glass,UV光酸化