[17a-C2-1~10] 8.4 プラズマエッチング

△ [17a-C2-1] フルオロカーボン（FC）・ハイドロフルオロカーボン（HFC）プラズマエッチングにおけるSiN/SiO₂選択性の解析

^○（M2）三宅啓太¹，礒部倫郎¹，深沢正永²，長畑和典²，辰巳哲也²，浜口智志¹ (阪大工¹，ソニー²)

キーワード：SiN,シミュレーション