11:30 〜 11:45
[17a-C2-10] X線光電子分光測定を用いたプラズマエッチング時のダメージ評価技術の検討
キーワード：エッチングダメージ ,XPS
講演情報
一般セッション(口頭講演)
08．プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング
[17a-C2-1~10] 8.4 プラズマエッチング
2013年9月17日(火) 09:15 〜 11:45 C2 (TC3 1F-102)
一般セッション(口頭講演)
08．プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング
2013年9月17日(火) 09:15 〜 11:45 C2 (TC3 1F-102)
11:30 〜 11:45
キーワード：エッチングダメージ ,XPS