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一般セッション(口頭講演)

08．プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング

[17a-C2-1~10] 8.4 プラズマエッチング

2013年9月17日(火) 09:15 〜 11:45 C2 (TC3 1F-102)

10:15 〜 10:30

△ [17a-C2-5] CH_xF_yプラズマエッチング時のSiO₂/Si界面準位の生成

^○重歳卓志，深沢正永，長畑和典，辰巳哲也 (ソニー)

キーワード：エッチング,ダメージ