[17a-C2-1~10] 8.4 プラズマエッチング

△ [17a-C2-8] CH_xF_yプラズマにおける活性種生成過程とエッチング機構の解明(III)

^○（D）近藤祐介，宮脇雄大，竹田圭吾，近藤博基，石川健治，林俊雄，関根誠，堀勝 (名大院工)

キーワード：エッチング,フルオロカーボン,プラズマ診断