2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

12.有機分子・バイオエレクトロニクス » 12.1 作製技術

[17a-C5-1~10] 12.1 作製技術

2013年9月17日(火) 10:00 〜 12:45 C5 (TC3 1F-115)

10:00 〜 10:15

[17a-C5-1] 様々な基板上にスパッタ成膜したハイドロキシアパタイト膜の特性

赤沢方省,上野祐子 (NTT MI研)

キーワード:ハイドロキシアパタイト,スパッタ,金属基板