[17a-D3-1~13] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [17a-D3-1] アナターゼ型Ti_xTa_1-xO_1+yN_1-z薄膜のエピタキシャル成長

^○鈴木温^1,2,3，廣瀬靖^1,2,3，岡大地^1,2,3，中尾祥一郎^2,3，松崎浩之⁴，福谷克之⁵，石井聡⁶，笹公和⁶，関場大一郎⁶，福村知昭^1,2,3，長谷川哲也^1,2,3 (東大院理¹，KAST²，JST-CREST³，東大院工⁴，東大生研⁵，UTTAC⁶)

キーワード：酸窒化物,エピタキシャル成長