[17a-D3-1~13] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[17a-D3-10] Nb-FドープCVD-TiO₂薄膜のwet処理による特性改善

^○山内智，石橋和洋 (茨城大工)

キーワード：酸化チタン,透明導電膜,化学気相堆積法