[17a-D3-1~13] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[17a-D3-12] ハイブリッド対向スパッタによるフィルム基板上へのITO透明導電膜作製

^○諸橋信一，碓井圭太，高木史博，原田直幸，村田卓也 (山口大院理工)

キーワード：ハイブリッド対向スパッタ,Hybrid facing-target sputtering