12:30 〜 12:45
[17a-D3-12] ハイブリッド対向スパッタによるフィルム基板上へのITO透明導電膜作製
キーワード:ハイブリッド対向スパッタ,Hybrid facing-target sputtering
一般セッション(口頭講演)
06.薄膜・表面 » 6.3 酸化物エレクトロニクス
2013年9月17日(火) 09:30 〜 13:00 D3 (MK 2F-201)
12:30 〜 12:45
キーワード:ハイブリッド対向スパッタ,Hybrid facing-target sputtering