[17a-D3-1~13] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [17a-D3-5] XASスペクトルに見られるTiO₂薄膜のエッチングダメージ回復現象の条件評価

^○佐野桂治¹，新部正人¹，川上烈生²，富永喜久雄²，中野由崇³ (兵庫県立大高度研¹，徳島大院工²，中部大総工研³)

キーワード：酸化チタン,XAS,エッチング