[17a-P11-1~11] 3.4 計測光学

[17a-P11-10] ナノ構造評価のための透過型分光ミュラー行列偏光計

^○（M1）鎌田葉¹，杉坂純一郎^1,2，大谷幸利¹，谷田貝豊彦¹ (宇都宮大CORE¹，北見工業大²)

キーワード：偏光計測,スキャトロメトリ