[17a-P15-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

[17a-P15-1] Arの高周波プラズマを用いたテトラメチルシランの分解反応

^○茂木紳令，伊藤治彦 (長岡技科大工)

キーワード：水素化アモルファス炭化ケイ素膜,プラズマCVD