[17a-P15-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

[17a-P15-3] パルスバイアスプラズマによるDLC-Si膜の作製

^○立花裕也，池永訓昭，花岡良一，作道訓之 (金沢工大)

キーワード：Diamond-Like-Carbon,パルスバイアスプラズマ