[17a-P15-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

[17a-P15-6] 特殊形状の金属反応容器内におけるマイクロ波プラズマCVDによる高品質ダイヤモンド薄膜作製プロセスの開発

^○宮田昌和¹，毎田修¹，南光正平²，伊藤利道¹ (阪大院工¹，ニッシン²)

キーワード：ダイヤモンド,作製プロセス