[17a-P15-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

[17a-P15-8] 高電力密度マイクロ波プラズマCVD法を用いた(001)微斜面基板上の多層燐δドープダイヤモンド積層薄膜の成長プロセスの適正化

^○大橋統正，毎田修，伊藤利道 (阪大院工)

キーワード：ダイヤモンド,リン