[17a-P15-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

[17a-P15-9] 高品質CVDダイヤモンド微細柱状構造の作製プロセスの適正化とそのデバイス応用

^○橋本竜一，毎田修，伊藤利道 (阪大院工)

キーワード：ダイヤモンド