[17a-P16-1~7] 6.4 薄膜新材料

[17a-P16-4] 赤外線センサ検知部材料のためのTa,Wﾄﾞｰﾌﾟ酸化ﾊﾞﾅｼﾞｳﾑ膜の形成(Ⅱ)

齋藤和弘，仁佐瀬宇宙，渡邊良祐，^○齋藤洋司 (成蹊大院理工)

キーワード：ボロメータ,赤外線センサ,酸化バナジウム