2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

06.薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[17a-P16-1~7] 6.4 薄膜新材料

2013年9月17日(火) 09:30 〜 11:30 P16 (デイヴィス記念館 )

09:30 〜 11:30

[17a-P16-6] Cu3N薄膜の作製と評価

清水航,丸矢航平,二宮善彦,佐藤厚,山田直臣 (中部大工)

キーワード:Cu3N,スパッタ,低温成長