PDF ダウンロード スケジュール 3 いいね! 1 09:30 〜 11:30 [17a-P16-6] Cu3N薄膜の作製と評価 ○清水航,丸矢航平,二宮善彦,佐藤厚,山田直臣 (中部大工) キーワード:Cu3N,スパッタ,低温成長