[17p-A2-1~9] 1.9 超音波

△ [17p-A2-2] Ta酸化膜上への圧電性Ta₂O₅薄膜の成膜と評価

^○岩本俊介，三枝涼介，垣尾省司 (山梨大院医工)

キーワード：圧電薄膜