[17p-A3-1~18] 4.7 レーザー・プロセッシング

[17p-A3-17] 光・粒子計測を用いた集光EUV及びレーザーによる物質アブレーションの比較

^○田中のぞみ¹，増田将也¹，永富健介²，吉田実²，藤岡慎介¹，西村博明¹ (阪大レーザー研¹，近大理工²)

キーワード：EUV,アブレーション,プラズマ加熱